В работе исследована возможность формирования золотых наночастиц термическим отжигом и ионным облучением тонкой пленки на поверхности нитрида кремния. Показано, что термически наночастицы формируются, но с очень большим разбросом по размерам, а после облучения ионным пучком частиц обнаружить не удалось. Кроме того, подробно исследована зависимость размера наночастиц на поверхности кремния от дозы тяжелых ионов Та.

• Перечень условных обозначений и сокращений
• ВВЕДЕНИЕ
• ГЛАВА 1. ОБЗОР ЛИТЕРАТУРЫ
• 1.1. Плазмонный резонанс и оптические свойства наночастиц благородных металлов
• 1.2. Применение наночастиц благородных металлов
• 1.3. Методы получения наночастиц благородных металлов
• 1.3.1. Химическое восстановление
• 1.3.2. Напыление плёнки (Метод термического испарения)
• 1.3.3. Отжиг тонких плёнок
• 1.3.4. Ионное облучение
• 1.4. Нитрид кремния
• 1.5. Выводы и постановка задачи
• 1.5.1 Поставленные задачи
• ГЛАВА 2. МЕТОДИКА ЭКСПЕРИМЕНТА
• 2.1 Получение исходных тонких пленок золота
• 2.2. Методы исследования. Сканирующая электронная микроскопия
• ГЛАВА 3. ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫЕ РЕЗУЛЬТАТЫ И ИХ ОБСУЖДЕНИЕ
• 3.1. Получение наночастиц золота на поверхности нитрида кремния путем отжига
• 3.2. Ионное облучение золотой пленки на нитриде кремния
• 3.2. Ионное облучение золотой пленки на подложке кремния
• ВЫВОДЫ
• Список литературы