Осипов, Артём Арменакович. Разработка технологии глубокого скоростного плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния, ниобата лития при малой мощности [Электронный ресурс]: научный доклад: 11.06.01 / А. А. Осипов; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого ; науч. рук. С. Е. Александров. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,20 Мб). — Санкт-Петербург, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/va19-2.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/2/va19-2