Алиева, Александра Игоревна. Оптимизация параметров Bosch-процесса для получения микромеханических структур по технологии кремний на стекле [Электронный ресурс]: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники = Optimization of Bosch-process parameters for silicon on glass micromechanical systems / А. И. Алиева; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. М. В. Мишин. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 5,7 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-1069.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1069>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-a.pdf>.
|
Period
|
Read
|
Print
|
Copy
|
Open
|
Total
|
|
Year 2019
|
Quarter 3
|
8
|
0
|
8
|
0
|
16
|
|
Quarter 4
|
5
|
0
|
12
|
0
|
17
|
|
Year 2020
|
Quarter 1
|
7
|
0
|
17
|
0
|
24
|
|
Quarter 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Year 2021
|
Quarter 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 2
|
2
|
0
|
4
|
0
|
6
|
|
Quarter 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Year 2022
|
Quarter 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 2
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Quarter 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Quarter 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Total
|
22
|
0
|
43
|
0
|
65
|
