Детальная информация

Алиева, Александра Игоревна. Оптимизация параметров Bosch-процесса для получения микромеханических структур по технологии кремний на стекле [Электронный ресурс] = Optimization of Bosch-process parameters for silicon on glass micromechanical systems: выпускная квалификационная работа магистра: 22.04.01 - Материаловедение и технологии материалов ; 22.04.01_01 - Материаловедение наноматериалов и компонентов электронной техники / А. И. Алиева; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт металлургии, машиностроения и транспорта ; науч. рук. М. В. Мишин. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 5,7 Мб). — Санкт-Петербург, 2019. — Загл. с титул. экрана. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/vr19-1069.pdf>. — <URL:http://doi.org/10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-1069>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2019/vr/rev/vr19-1069-a.pdf>.

Дата создания записи: 26.08.2019

Тематика: Кремний; Стекло; Травление металлов; Гироскопы; Датчики; bosch-процесс; травление кремния; микромеханические гироскопы; капсулированные датчики

УДК: 621.794.44:669.782(043.3); 669.782:666.1/.28(043.3)

Коллекции: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция

Ссылки: DOI; Отзыв руководителя; Рецензия; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований

Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (5,7 Мб) Для чтения документа необходим Flash Player

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Локальная сеть ИБК СПбПУ

Аннотация

В настоящей работе изложены литературные и экспериментальные данные по проведению травления монокристаллического кремния на стекле методом Bosch. Bosch-процесс проводился с использованием гексафторида серы SF6 и перфторциклобутана C4F8 на установке Oxford Instruments Plasma Pro Estrelas 100. Были выявлены основные зависимости технологических характеристик от параметров газового разряда, а также влияние характеристик на выходные параметры микроэлектромеханических датчиков.

Theoretical and experimental data on etching of monocrystalline silicon on glass using Bosch-process are considered in the present study. The Bosch process was carried out using sulfur hexafluoride SF6 and perfluorocyclobutane C4F8 on the Oxford Instruments Plasma Pro Estrelas 100. The main dependences of the process characteristics on the gas discharge parameters and the effect of the characteristics on the output parameters of microelectromechanical sensors were identified.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие
-> Локальная сеть ИБК СПбПУ Все Прочитать Печать Загрузить
Интернет Все Прочитать Печать Загрузить

Статистика использования документа

stat Количество обращений: 35
За последние 30 дней: 3
Подробная статистика