Details

Для положительного столба электроположительного, а также электроотрицательного (в смеси хлора с инертным газом) тлеющего разряда среднего давления теоретически исследован переход от традиционной цилиндрической к коаксиальной геометрии разряда, когда плазма разряда локализована в зазоре между двумя коаксиально расположенными цилиндрическими трубками; при этом возникает новый механизм потерь электронов – диффузионный уход их на внутреннюю стенку. Показано, что существование разряда становится возможным лишь при существенном увеличении частоты ионизации и, соответственно, электронной температуры. Последнее вызовет возрастание удельной мощности излучения разряда. Получены аналитические выражения для оценки электронной температуры плазмы названных разрядов в коаксиальной геометрии.

The transition from the cylindrical discharge geometry to the coaxial one has been theoretically investigated for electronegative middle pressure glow discharge. New electron loss mechanism arises that will cause an increase of electron temperature. The elevation of the electron temperature would cause a growth of the specific power of discharge ultraviolet radiation.