Детальная информация
Название | Оптимизация Xe лазерно - плазменного источника EUV излучения для литографии. Новый метод подавления периферического поглощения: выпускная квалификационная работа магистра: 03.04.02 - Физика ; 03.04.02_05 - Физика плазмы |
---|---|
Авторы | Буторин Павел Сергеевич |
Научный руководитель | Сергеев Владимир Юрьевич |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2019 |
Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
Тематика | Лазерная плазма ; Фотолитография ; EUV литография ; периферическое поглощение ; брэгговские зеркала ; спектр излучения Xe ; конверсионный коэффициент |
УДК | 533.9:621.373.826 ; 776 |
Тип документа | Выпускная квалификационная работа магистра |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Уровень высшего образования | Магистратура |
Код специальности ФГОС | 03.04.02 |
Группа специальностей ФГОС | 030000 - Физика и астрономия |
Ссылки | Отзыв руководителя ; Рецензия ; Отчет о проверке на объем и корректность внешних заимствований |
DOI | 10.18720/SPBPU/3/2019/vr/vr19-3839 |
Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | ru\spstu\vkr\2216 |
Дата создания записи | 18.09.2019 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа | Анонимные пользователи |
---|---|
Сеть | Интернет |
В представленной работе описывается новый метод подавления периферического поглощения EUV излучения в Xe газоструйном источнике света. С помощью поворотных брэгговских зеркал измерены спектры плотности мощности излучения Xe лазерной плазмы в полосе 11–14 нм. Показано, что при использовании разработанного метода регистрируемый сигнал EUV излучения в полосе длин волн λ= 11÷11,8 нм вырос в 4 раза, а в полосе длин волн λ= 12,7÷14,2 нм – в 10 раз. Впервые для источника с Xe газоструйной мишенью получен конверсионный коэффициент η_(conv ) = (3,65±0,35)%.
The present paper describes a new method for suppressing the peripheral absorption of EUV radiation in a Xe gas-jet source. Using turnable Bragg mirrors, spectra of the Xe radiation power density of a laser plasma in the 11-14 nm band were measured. It is shown that using the developed method, the registered signal of EUV radiation in the wavelength band λ = 11 ÷ 11.8 nm increased 4 times, and in the wavelength band λ = 12.7 ÷ 14.2 nm – 10 times. At first for a source with Xe gas-jet target, the conversion coefficient η_(conv ) = (3,65± 0,35)% was obtained.
Место доступа | Группа пользователей | Действие |
---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 29
За последние 30 дней: 0