Расулов, Тамерлан Эльдар Оглы. Моделирование емкостного МЭМС-акселерометра: выпускная квалификационная работа магистра: направление 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» ; образовательная программа 11.04.04_06 «Интегральная электроника и микросистемотехника» = Modeling a capacitive MEMS-accelerometer / Т. Э. Расулов; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций ; научный руководитель В. В. Лобода ; консультант по нормоконтролю М. С. Енученко. — Санкт-Петербург, 2020. — 1 файл (1,7 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/vr20-2797.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-2797-o.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-2797-r.pdf>. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2020/vr/rev/vr20-2797-a.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2020/vr/vr20-2797. — Текст