Было проведено исследование типов датчиков силы на их способность работать при критически низких и высоких температурах. Особое внимание было уделено сравнению между собой тензорезистивных и емкостных. Проведено исследование влияния температуры на измеряемую емкость, а именно на изменение параметров мембраны, на изменение диэлектрической проницаемости среды между электродами, на изменение модуля упругости материалов. Полученный массив данных был обработан в системе MathCAD. Для проектируемого емкостного датчика силы была составлена схема подключения электронных компонентов, разработана структурная и принципиальная схема, написано программное обеспечение, а также приведен сборочный чертеж датчика. В качестве электронной базы были выбраны Arduino Nano, AD7746 и LCD LMO16L. Было рассмотрено как температура влияет на тот или иной параметр мембраны и упругого элемента емкостного датчика силы и сделаны выводы по устранению этих слабых сторон.

The types of force sensors were investigated for their  ability to operate at critically low and high temperatures. Particular attention was paid to the comparison between strain gauge and capacitive sensors. The effect of temperature on the measured capacitance was investigated, specifically on changes in membrane parameters, on changes in the dielectric constant between the electrodes, and on changes in the modulus of elasticity of materials. The obtained data set was processed in MathCAD system. For the projected capacitive force sensor, a connection diagram of electronic components was made, structural and circuit diagrams were developed, software was written, and an assembly drawing of the sensor was given. Arduino Nano, AD7746 and LCD LMO16L were chosen as the electronic base. It was considered how the temperature affects some or other parameters of the membrane and the elastic element of the capacitive force sensor and conclusions were made to eliminate these shortcomings.