Данная работа посвящена исследованию влияния параметров магнетронного распыления в процессе формирования функциональных слоев в пьезоэлектриках. Задачи, которые решались в ходе исследования: 1. Изучение особенностей методов катодного распыления. 2. Изучение процесса магнетронного распыления как частного случая катодного распыления. 3. Применение технологии магнетронного распыления в процессе формирования функционального слоя в пьезоэлектриках. 4. Исследование полученных результатов и анализ свойств функционального слоя Помимо этого, в работе раскрывается понятие пьезоэлектрического эффекта и его применения в сфере микросистемной технике. Дается понятие о резонаторе на объемных акустических волнах и особенностях его создания. Работа проведена на базе АО «НИТИ «АВАНГАРД»», с использованием магнетронной установки на постоянном токе «SemiTEq STE» «MS900S». Предоставлены условия получения слоев нитрида алюминия их итоговые амплитудно-частотные характеристики. В данной работе рассматривается процесс создания линии задержки, и роли нитрида алюминия в данном процессе магнетронного распыления. Нанесение слоев происходило с разным временным интервалом, что позволило оценить пригодность выбранных параметров при заданных производством технических параметрах.

Topic of the final qualification work: "Application of magnetron sputtering technology for deposition of functional layers." This work is devoted to the study of the influence of magnetron sputtering parameters in the process of formation of functional layers in piezoelectrics. Tasks that were solved in the course of the study: 1. Studying the features of cathode sputtering methods. 2. Study of the process of magnetron sputtering as a special case of cathode sputtering. 3. Application of magnetron sputtering technology in the process of formation of a functional layer in piezoelectrics. 4. Study of the obtained results and analysis of the properties of the functional layer In addition, the paper reveals the concept of the piezoelectric effect and its application in the field of microsystem technology. The concept of a resonator based on bulk acoustic waves and the features of its creation is given. The work was carried out on the basis of JSC "NITI "AVANGARD"", using a DC magnetron installation "SemiTEq STE" "MS900S". The conditions for obtaining aluminum nitride layers and their final amplitude-frequency characteristics are provided. This paper discusses the process of creating a delay line, and the role of aluminum nitride in this process of magnetron sputtering. The layers were applied at different time intervals, which made it possible to assess the suitability of the selected parameters with the technical parameters specified by the production.