В данной работе рассмотрена возможность получения тонкого слоя катализатора в виде тонких пленок оксида железа и никеля методом атомно-слоевого осаждения. Для проверки эффективности полученных каталитических структур на них было проведено осаждение углеродных нанотрубок методом плазмохимического осаждения из газовой фазы в плазме разряда постоянного тока. Оба катализатора позволили получить массивы углеродных нанотрубок, их морфология зависела от условий получения оксидов металлов и сорта металла.

In this work, we consider the possibility of obtaining a thin catalyst layer in the form of thin films of iron and nickel oxide by atomic layer deposition. To test the efficiency of the obtained catalytic structures, carbon nanotube arrays were deposited by method of direct current plasma enhance chemical vapor deposition. Both catalysts made it possible to obtain arrays of carbon nanotubes; their morphology depended on the conditions for obtaining metal oxides and the type of metal.