Джусупов, Тимур Алиханович. Подборка технологических режимов процессов ионно-лучевого травления при производстве фотошаблонов: выпускная квалификационная работа бакалавра: направление 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» ; образовательная программа 28.03.01_01 «Технологии наноматериалов и изделий микросистемной техники» = Selection of technological modes of ioh beam etching processes in the production of photomasks / Т. А. Джусупов; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Институт машиностроения, материалов и транспорта; научный руководитель Д. К. Таганцев; консультант по нормоконтролю Л. А. Филатов. — Санкт-Петербург, 2023. — 1 файл (1,9 Мб). — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/3/2023/vr/vr23-4344.pdf>. — DOI 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-4344. — Текст: электронный