Детальная информация
Название | Разработка системы автоматизированного поиска параметров роста ITO-покрытий на установке магнетронного распыления: выпускная квалификационная работа магистра: направление 15.04.06 «Мехатроника и робототехника» ; образовательная программа 15.04.06_04 «Робототехника» |
---|---|
Авторы | Белянов Илья Андреевич |
Научный руководитель | Бахшиев Александр Валерьевич |
Другие авторы | Чупров Сергей Геннадьевич |
Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт машиностроения, материалов и транспорта |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2023 |
Коллекция | Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция |
Тематика | оксид индия-олова; магнетронное распыление; микросистемная техника; машинное обучение; Байесовская оптимизация; indium tin oxide; magnetron sputtering; microsystem technology; machine learning; Bayesian optimization |
Тип документа | Выпускная квалификационная работа магистра |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Уровень высшего образования | Магистратура |
Код специальности ФГОС | 15.04.06 |
Группа специальностей ФГОС | 150000 - Машиностроение |
DOI | 10.18720/SPBPU/3/2023/vr/vr23-5662 |
Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать) |
Ключ записи | ru\spstu\vkr\25438 |
Дата создания записи | 08.08.2023 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа | Анонимные пользователи |
---|---|
Сеть | Интернет |
Тема выпускной квалификационной работы: «Разработка системы автоматизированного поиска параметров роста ITO-покрытий на установке магнетронного распыления». В данной работе был разработан подход к автоматизированному поиску параметров роста покрытий оксид индий-олова (ITO) на установке магнетронного с применением методов Байесовской оптимизации. Разработан комплекс программ для удобного использования модели машинного обучения обычными инженерами. Разработана и создана установка реактивного магнетронного распыления, позволяющая напылять пленки ITO. Проведены серии экспериментов, подтверждающие применимость данного подхода к оптимизированному росту покрытий. Целью работы являлась разработка систему автоматизированного поиска параметров роста ITO-покрытий на установке магнетронного распыления.
The topic of the master’s thesis: "Development of a system for automated search for growth parameters of ITO coatings on a magnetron sputtering installation". In this paper, an approach was developed to the automated search for the growth parameters of indium tin oxide (ITO) coatings on a magnetron installation using Bayesian optimization methods. The programs have been developed for convenient use of the machine learning model by ordinary engineers. A reactive magnetron sputtering unit has been developed and created, which allows ITO films to be sprayed. A series of experiments have been carried out confirming the applicability of this approach to optimized coating growth. The aim of the work was to develop a system for automated search for growth parameters of ITO coatings on a magnetron sputtering unit.
Место доступа | Группа пользователей | Действие |
---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 2
За последние 30 дней: 0