Тема выпускной квалификационной работы: «Исследование процессов сварки разнородных материалов (металл -полупроводник) с использованием лазерного излучения ИК диапазона и длительностью импульсов 50 пс». Работа выполнена в лаборатории «Лазерные и плазменные технологии» НЦМУ ЦНТИ СПбПУ. В рамках данной работы были исследованы процессы лазерной сварки системы кремний-сталь с помощью 50 пс импульсов ИК диапазона. В рамках работы были изучены основные закономерности и особенности лазерной сварки и обработки лазерными импульсами сверхкороткой длительности. Была проведена серия экспериментов по линейной и точечной сварке разнородных материалов. Установлено технологическое окно параметров, позволяющее добиться эффективного формирования сплавленной области: при частоте 1-4 МГц, и средней мощности 10-30 Вт. Были исследованы структурные особенности областей сварки материалов с помощью сканирующей электронной микроскопии (СЭМ), а также изучен химический состав интерфейсной области. В результате работы удалось реализовать процесс сплавления системы кремний-сталь при поверхностной концентрации кремния, достигающей 11 %.

The subject of the graduate qualification work is « Investigation of welding pro-cesses of dissimilar materials (metal-semiconductor) using IR range laser radiation with pulse duration of 50 ps. The work was carried out at laboratory of «Laser and plasma technology» SPbPU. Within the framework of this work, the processes of laser welding of the sili-con-steel system using 50 ps IR pulses were studied. As part of the work, the main patterns and features of laser welding and processing with ultrashort laser pulses were studied. A series of experiments various welding of dissimilar materials was carried out. A process parameter window has been explored, which makes it possi-ble to achieve effective formation of a fused region using following parameters fre-quency 1-4 MHz, average power10-30 W. The structural features of the welding ar-eas were studied using scanning electron microscopy (SEM), alongside with chem-ical composition of the interface area. As a result of the work, it was possible to implement the process of welding silicon-steel system with surface concentration of silicon reaching 11 %.