В данной работе изучен материал по методам получения катализатора для роста УНТ. Для получения катализатора выбран метод атомно-слоевого осаждения. Получение оксида железа в качестве катализатора методом атомно-слоевого осаждения и рост УНТ с помощью плазмохимического метода проведены в одной установке. Для создания такой унифицированной установки проведена большая работа по проектированию, изготовлению и экспериментальному испытанию реактора. В ходе экспериментальной работы изучены физико-химические закономерности осаждения оксида железа в новой системе реагентов. Полученные каталитические структуры показали эффективность для роста массивов УНТ.

In this work the methods of obtaining a catalyst for the growth of CNTs have been studied. To obtain the catalyst the method of atomic layer deposition (ALD) was chosen. The obtain of iron oxide as a catalyst and the growth of CNTs by plasma enhanced chemical vapor deposition were carried out in one setup. To create such a unified installation a lot of work has been done on the design and experimental testing of the reactor. In the course of the experimental work, the physicochemical regularities of the ALD of iron oxide in a new system of reagents were studied. The obtained catalysts have shown efficiency for the growth of CNT.