Детальная информация

Название: Исследование микроструктуры и фазового состава керамики на основе карбида кремния, облученной низкоэнергетическими ионами гелия // Физика и химия обработки материалов: научно-технический журнал. – 2023. – № 1. — С. 5-10
Авторы: Углов В. В.; Холод В. М.; Гринчук П. С.; Иванов И. А.; Козловский А. Л.; Здоровец М. В.
Выходные сведения: 2023
Коллекция: Общая коллекция
Тематика: Физика; Оптические свойства твердых тел; керамика; карбид кремния; фазовый состав керамики; микроструктура керамики; облучение ионами гелия; низкоэнергетические ионы гелия; аморфизация; ceramics; silicon carbide; phase composition of ceramics; ceramic microstructure; irradiation with helium ions; low-energy helium ions; amorphization
УДК: 539.21:535
ББК: 22.374
Тип документа: Статья, доклад
Тип файла: Другой
Язык: Русский
DOI: 10.30791/0015-3214-2023-1-5-10
Права доступа: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи: RU\SPSTU\edoc\71184

Разрешенные действия: Посмотреть

Аннотация

Изучено влияние облучения ионами гелия с энергией 40 кэВ и дозами 1*10{14} - 2*10{1} см{-2} на микроструктуру и фазовый состав керамик на основе карбида кремния. Выявлен радиационный рост кристаллической решетки 6H-SiC. При дозе 1*10{16} см{-2} наблюдается спад деформации, связанный с формированием газово-вакансионных кластеров, являющихся стоками для радиационных дефектов. Установлена аморфизация приповерхностного слоя.

The effect of irradiation with helium ions with an energy of 40 keV and doses of 1*10{14} - 2*10{17} cm{-2} on the microstructure and phase composition of ceramics based on silicon carbide has been studied. The irradiation growth of the 6H-SiC crystal lattice was revealed. However, at a dose of 1*10{16} cm{-2}, there is a decrease in deformation associated with the formation of gasvacancy clusters, which are sinks for radiation defects. Amorphization of the near-surface layer has been established.

Статистика использования

stat Количество обращений: 15
За последние 30 дней: 1
Подробная статистика