Исследование влияния степени вакуумирования на добротность колебательного контура чувствительного элемента МЭМС-датчика = Investigating the influence of vacuum degree on merit factor of oscillating circuit of MEMS sensor sensitive element / С. П. Тимошенков, А. С. Тимошенков, С. А. Анчутин [и др.]. — 1 файл (593 Кб). — (Микро- и наносистемная техника). — DOI 10.24151/1561-5405-2023-28-5-642-648. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2023. – С. 642-648. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=54683307>.