Аддитивное ионное легирование арсенида галлия методом формирования нанокластеров = Additive ion implantation in gallium arsenide by forming alloy nanoclusters / И. В. Перинская, В. В. Перинский, И. В. Родионов, Л. Е. Куц. — 1 файл (621 Кб). — (Воздействие потоков энергии на материалы). — DOI 10.30791/0015-3214-2022-2-5-12. — Текст: электронный // Физика и химия обработки материалов = Physics and chemistry of materials treatment: научно-технический журнал / Российская академия наук, Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова. – 2022. – С. 5-12. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/item.asp?id=48363928>.