Исследовано влияние последовательного ионного легирования протонами с энергией 30 кэВ и дозой 3*10{13} ион/см{2}, ионами легирующего элемента (серы), с энергией 75 кэВ и дозой (1 - 6)*0{1 ион/см{2}, ионами серы с энергией 30 кэВ и дозой 4*10{16} ион/см{2} и отжига в углеродосодержащей атмосфере (CO[2]) при температуре 500 С на характеристики монокристаллического арсенида галлия. Предложен механизм увеличения подвижности электронов в поверхностном слое до 4500 - 5000 см[2]/(В*с), основанный на формировании газовых нанокластеров при облучения протонами с последовательным заполнением их объема ионами серы и активационного отжига под слоем углеродного беспористого покрытия, синтезированного ускоренными ионами в углеродосодержащей атмосфере. Предлагаемый способ открывает новые возможности ионного легирования для применения в монолитно-интегральной технологии интегральных схем сверхвысоких частот.

The research deals with effects of ion implantation using protons at 30 keV energy and dose of 3*10{13} ion/cm{2}, ion-implanted doping element (sulfur) at 75 keV energy and dose of (1 - 6)*10{14} ion/cm{2}, sulfur ions at 30 keV energy and dose of 4*10{16} ion/cm{2}, and annealing in carbon-containing atmosphere (CO[2]) at 500 С on the characteristics of monocrystalline gallium arsenide. The authors propose a mechanism aimed to increase electron mobility in the surface layer up to 4500 - 5000 cm{2}/(V*s) based on the gas phase nanocluster synthesis during proton irradiation and subsequent filling the bulk of the structure with sulfur ions, including activation annealing under a layer of nonporous carbon coating synthesized by the ions accelerated into carbon-containing atmosphere. The proposed method promotes new possibilities for ion implantation to be applied in monolithic microwave integrated circuit (MMIC) design and technology.

Физика и химия обработки материалов = Physics and chemistry of materials treatment: научно-технический журнал / Российская академия наук, Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова. — Москва: Интерконтакт Наука, 2022 -. — Электрон. журнал. — Периодичность: 6 раз в год. — Размещен на платформе "eLIBRARY.RU", ООО НЭБ: https://elibrary.ru/. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://www.elibrary.ru/title_about_new.asp?id=8248>.

Физика и химия обработки материалов = Physics and chemistry of materials treatment: научно-технический журнал / Российская академия наук, Институт металлургии и материаловедения им. А. А. Байкова. — Москва: Интерконтакт Наука, 2022 -. № 2, 2022. — (9 ст.). — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/contents.asp?id=48363927>.