Разработка процесса фотолитографии для изготовления гибкого тонкопленочного термоэлектрического генератора = Development of the photolithography process for the fabrication of flexible thin film thermoelectric generator / Д. Ю. Терехов, Д. В. Пепеляев, А. О. Якубов [и др.]. — 1 файл (762 Кб). — (Технологические процессы и маршруты). — DOI 10.24151/1561-5405-2022-27-5-591-602. — Текст: электронный // Известия высших учебных заведений. Электроника = Proceedings of universities. Electronics: научно-технический журнал. – 2022. – С. 591-602. — Загл. с титул. экрана. — Список литературы представлен на русском и английском языках. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение). — <URL:https://elibrary.ru/item.asp?id=49562234>.