Details
Title | Реактивное ионное травление III-нитридов // Материалы...27 ноября - 2 декабря 2000 г. – 2002. – Радиофизический и физико-технический факультеты. — Ч.6 |
---|---|
Creators | Рамушина Е.М. ; Гуревич С.А. |
Other creators | Глухов Владимир Викторович |
Organization | Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург) ; Физико-технический факультет ; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов |
Imprint | СПб., 2002 |
Collection | Общая коллекция |
Subjects | реактивное травление ; ионное травление ; III-нитриды ; плазменное травление ; наклонный профиль ; химические реагенты ; маски ; параметры плазмы |
UDC | 662.642:621.926.7 |
Document type | Article, report |
File type | |
Language | Russian |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\1054 |
Record create date | 4/22/2002 |
Access count: 1178
Last 30 days: 13