?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Реактивное ионное травление III-нитридов // Материалы...27 ноября - 2 декабря 2000 г. – 2002. – Радиофизический и физико-технический факультеты
Creators: Рамушина Е.М.; Гуревич С.А.
Other creators: Глухов Владимир Викторович
Organization: Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Физико-технический факультет; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
Imprint: СПб., 2002
Collection: Общая коллекция
Subjects: реактивное травление; ионное травление; III-нитриды; плазменное травление; наклонный профиль; химические реагенты; маски; параметры плазмы
UDC: 662.642:621.926.7
Document type: Article, report
File type: PDF
Language: Russian
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\1054

Allowed Actions: Read Download (74 Kb)

Group: Anonymous

Network: Internet

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Included in

Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург). Материалы...27 ноября - 2 декабря 2000 г. [Электронный ресурс] / Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. — СПб., 2001. — Электрон. версия печ. публикации 2000. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0.

Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург). Материалы...27 ноября - 2 декабря 2000 г. [Электронный ресурс] / Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург); Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов; Под общ. ред. В.В. Глухова. — СПб., 2001. Радиофизический и физико-технический факультеты [Электронный ресурс]. — Ч.6. — Электрон. текстовые дан. (91 файлов: 7,40 Мб), 2002. — Электрон. версия печ. публикации 2000. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Adobe Acrobat Reader 4.0.

Usage statistics

stat Access count: 815
Last 30 days: 2
Detailed usage statistics