Details
| Title | Реактивное ионное травление III-нитридов // Материалы...27 ноября - 2 декабря 2000 г. – 2002. – Радиофизический и физико-технический факультеты. — Ч.6 |
|---|---|
| Creators | Рамушина Е.М. ; Гуревич С.А. |
| Other creators | Глухов Владимир Викторович |
| Organization | Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Неделя науки (29; 2000; Санкт-Петербург) ; Физико-технический факультет ; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов |
| Imprint | СПб., 2002 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | реактивное травление ; ионное травление ; III-нитриды ; плазменное травление ; наклонный профиль ; химические реагенты ; маски ; параметры плазмы |
| UDC | 662.642:621.926.7 |
| Document type | Article, report |
| File type | |
| Language | Russian |
| Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\1054 |
| Record create date | 4/22/2002 |
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | All |
|
Access count: 1248
Last 30 days: 17
