|
Title
|
Исследование взаимодействия плазмы высокочастотных разрядов низкого давления с электродом // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года. – 2002. – Факультет технологии и исследования материалов и физико-технический факультет
|
|
Creators
|
Малик Д.А.;
Смирнов Александр Сергеевич
|
|
Other creators
|
Глухов Владимир Викторович
|
|
Organization
|
Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург);
Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
|
|
Imprint
|
Санкт-Петербург, 2002
|
|
Collection
|
Общая коллекция
|
|
Subjects
|
высокочастотный емкостной разряд;
ВЧЕ разряды;
плазма
|
|
UDC
|
533.915:621.794
|
|
Document type
|
Article, report
|
|
File type
|
PDF
|
|
Language
|
Russian
|
|
Rights
|
Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
|
|
Record key
|
RU\SPSTU\edoc\2808
|
| Record create date |
6/3/2003 |
