Детальная информация
| Название | Накопление радиационных повреждений при ионной имплантации // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года. – 2002. – Радиофизический факультет. — Ч.8 |
|---|---|
| Авторы | Хуторщиков М.В. ; Титов Андрей Иванович ; Никулина Л.М. |
| Другие авторы | Глухов Владимир Викторович |
| Организация | Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург) ; Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2003 |
| Коллекция | Общая коллекция |
| Тематика | ионная имплантация ; полупроводниковые материалы ; ускоренные ионы |
| УДК | 621.38:537.543.9 |
| Тип документа | Статья, доклад |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\3131 |
| Дата создания записи | 27.06.2003 |
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Все |
|
Количество обращений: 961
За последние 30 дней: 11
