|
Title
|
Накопление радиационных повреждений при ионной имплантации // Материалы...26 ноября - 1 декабря 2001 года. – 2002. – Радиофизический факультет. — Ч.8
|
|
Creators
|
Хуторщиков М.В.
;
Титов Андрей Иванович
;
Никулина Л.М.
|
|
Other creators
|
Глухов Владимир Викторович
|
|
Organization
|
Санкт-Петербургский государственный технический университет. Межвузовская научная конференция, Юбилейная неделя науки (30; 2001; Санкт-Петербург)
;
Совет СПбГТУ по научно-исследовательской работе студентов
|
|
Imprint
|
Санкт-Петербург, 2003
|
|
Collection
|
Общая коллекция
|
|
Subjects
|
ионная имплантация
;
полупроводниковые материалы
;
ускоренные ионы
|
|
UDC
|
621.38:537.543.9
|
|
Document type
|
Article, report
|
|
Language
|
Russian
|
|
Rights
|
Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
|
|
Record key
|
RU\SPSTU\edoc\3131
|
| Record create date |
6/27/2003 |
