Детальная информация
Название | Самоорганизация объемного заряда у поверхности полупроводника при равномерном распределнии примеси // Материалы...24 - 29 ноября 2003г. – 2005. – Радиофизический факультет |
---|---|
Авторы | Невилько А.В.; Бондаренко В.Б. |
Другие авторы | Глухов Владимир Викторович |
Организация | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Межвузовская научная-техническая конференция, Неделя науки (32; 2003; Санкт-Петербург); Совет СПбГПУ по научно-исследовательской работе студентов |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2005 |
Коллекция | Общая коллекция |
Тематика | субмикронные технологии; объемные заряды; полупроводниковые системы |
Тип документа | Статья, доклад |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\8121 |
Дата создания записи | 01.03.2005 |
In this paper we discuss the possibility of the self-organization at equilibrium distribution ofshallow-level impurity in the surface space region of a semiconductor. It was found the criterion of shortrange ordering and the impurity distribution in considered system.
Количество обращений: 765
За последние 30 дней: 8