|
Title
|
Физическая модель обратного изгиба при предварительным прогреве подложек для газофазной эпитаксии // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. – 2006. – Физико-механический факультет; Физико-технический факультет; Факультет медицинской физики и биоинженерии
|
|
Creators
|
Зайцев А.О.
;
Колгатин С.Н.
|
|
Other creators
|
Рудской Андрей Иванович
;
Глухов Владимир Викторович
|
|
Organization
|
Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов. Неделя науки (34; 2005; Санкт-Петербург)
;
Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Совет по научно-исследовательской работе студентов
|
|
Imprint
|
СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2006
|
|
Collection
|
Общая коллекция
|
|
Subjects
|
поверхностные слои
;
предростовые прогибы
;
подложкодержатели
|
|
Document type
|
Article, report
|
|
Language
|
Russian
|
|
Rights
|
Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
|
|
Record key
|
RU\SPSTU\edoc\14087
|
| Record create date |
5/28/2007 |
