Details
Title | Физическая модель обратного изгиба при предварительным прогреве подложек для газофазной эпитаксии // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. – 2006. – Физико-механический факультет; Физико-технический факультет; Факультет медицинской физики и биоинженерии |
---|---|
Creators | Зайцев А.О.; Колгатин С.Н. |
Other creators | Рудской Андрей Иванович; Глухов Владимир Викторович |
Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Всероссийская межвузовская научно-техническая конференция студентов и аспирантов. Неделя науки (34; 2005; Санкт-Петербург); Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Совет по научно-исследовательской работе студентов |
Imprint | СПб.: Изд-во Политехн. ун-та, 2006 |
Collection | Общая коллекция |
Subjects | поверхностные слои; предростовые прогибы; подложкодержатели |
Document type | Article, report |
File type | |
Language | Russian |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\14087 |
Record create date | 5/28/2007 |
Access count: 588
Last 30 days: 8