Зубов, Ф.И. Сиситема фокусировки в экспериментальном EUV литографе [Электронный ресурс] / Ф.И. Зубов, Р.П. Сейсян. — (Секция "Твердотельная электроника"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 61 Кб) // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Совет по научно-исследовательской работе студентов; [под общ. ред. А. И. Рудского, В. В. Глухова]. – СПб. – 2006. – Физико-механический факультет; Физико-технический факультет; Факультет медицинской физики и биоинженерии. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/007014.pdf>.