Зубов, Ф.И. Сиситема фокусировки в экспериментальном EUV литографе [Электронный ресурс] / Ф.И. Зубов, Р.П. Сейсян. — (Секция "Твердотельная электроника"). — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 61 Кб) // XXXIV неделя науки СПбГПУ: материалы Всероссийской межвузовской научно-технической конференции студентов и аспирантов: 28 ноября - 3 декабря 2005 г. / Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Совет по научно-исследовательской работе студентов; [под общ. ред. А. И. Рудского, В. В. Глухова]. – СПб. – 2006. – Физико-механический факультет; Физико-технический факультет; Факультет медицинской физики и биоинженерии. — Загл. с титул. экрана. — Электрон. версия печ. публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 4.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/007014.pdf>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2012
|
Квартал 1
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Квартал 2
|
3
|
0
|
3
|
0
|
6
|
|
Квартал 3
|
3
|
0
|
2
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
5
|
0
|
6
|
0
|
11
|
|
Год 2013
|
Квартал 1
|
2
|
0
|
1
|
0
|
3
|
|
Квартал 2
|
7
|
0
|
5
|
0
|
12
|
|
Квартал 3
|
14
|
0
|
2
|
0
|
16
|
|
Квартал 4
|
8
|
0
|
0
|
0
|
8
|
|
Год 2014
|
Квартал 1
|
4
|
0
|
1
|
0
|
5
|
|
Квартал 2
|
9
|
0
|
4
|
0
|
13
|
|
Квартал 3
|
8
|
0
|
6
|
0
|
14
|
|
Квартал 4
|
10
|
0
|
3
|
0
|
13
|
|
Год 2015
|
Квартал 1
|
12
|
0
|
2
|
0
|
14
|
|
Квартал 2
|
2
|
0
|
2
|
0
|
4
|
|
Квартал 3
|
7
|
0
|
6
|
0
|
13
|
|
Квартал 4
|
14
|
0
|
8
|
0
|
22
|
|
Год 2016
|
Квартал 1
|
7
|
0
|
5
|
0
|
12
|
|
Квартал 2
|
8
|
0
|
8
|
0
|
16
|
|
Квартал 3
|
6
|
0
|
1
|
0
|
7
|
|
Квартал 4
|
7
|
0
|
8
|
0
|
15
|
|
Год 2017
|
Квартал 1
|
5
|
0
|
1
|
0
|
6
|
|
Квартал 2
|
2
|
0
|
3
|
0
|
5
|
|
Квартал 3
|
9
|
0
|
7
|
0
|
16
|
|
Квартал 4
|
5
|
0
|
6
|
0
|
11
|
|
Год 2018
|
Квартал 1
|
9
|
0
|
10
|
0
|
19
|
|
Квартал 2
|
4
|
0
|
4
|
0
|
8
|
|
Квартал 3
|
8
|
0
|
6
|
0
|
14
|
|
Квартал 4
|
3
|
0
|
4
|
0
|
7
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
4
|
0
|
6
|
0
|
10
|
|
Квартал 2
|
7
|
0
|
1
|
0
|
8
|
|
Квартал 3
|
4
|
0
|
7
|
0
|
11
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
2
|
0
|
2
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
5
|
0
|
7
|
0
|
12
|
|
Квартал 2
|
3
|
0
|
0
|
0
|
3
|
|
Квартал 3
|
4
|
0
|
0
|
0
|
4
|
|
Квартал 4
|
5
|
0
|
8
|
0
|
13
|
|
Год 2021
|
Квартал 1
|
8
|
0
|
8
|
0
|
16
|
|
Квартал 2
|
4
|
0
|
14
|
0
|
18
|
|
Квартал 3
|
10
|
0
|
18
|
0
|
28
|
|
Квартал 4
|
2
|
0
|
11
|
0
|
13
|
|
Год 2022
|
Квартал 1
|
8
|
0
|
9
|
0
|
17
|
|
Квартал 2
|
1
|
0
|
4
|
0
|
5
|
|
Квартал 3
|
4
|
0
|
6
|
0
|
10
|
|
Квартал 4
|
5
|
0
|
5
|
0
|
10
|
|
Год 2023
|
Квартал 1
|
4
|
0
|
6
|
0
|
10
|
|
Квартал 2
|
5
|
0
|
4
|
0
|
9
|
|
Квартал 3
|
2
|
0
|
7
|
0
|
9
|
|
Квартал 4
|
7
|
0
|
9
|
0
|
16
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
1
|
0
|
12
|
0
|
13
|
|
Квартал 2
|
5
|
0
|
4
|
0
|
9
|
|
Всего
|
280
|
0
|
263
|
0
|
543
|
