Пособие соответствует государственному образовательному стандарту дисциплины "Прикладная физика: Физика плазмы и УТС" направления бакалаврской подготовки 553100 "Техническая физика". Рассмотрены гидродинамическая и кинетическая теория положительного столба тлеющего разряда постоянного тока, катодная область тлеющего разряда постоянного тока, высокочастотный емкостной разряд высокого и низкого давления. Основное внимание уделено высокочастотным емкостным разрядам, которые в последнее время нашли широкое применение в плазменной технологии и лазерной технике. При анализе процессов в разряде особо выделено кинетическое описание явлений. Это позволяет качественно и количественно описать процессы в разрядах низкого давления. Предназначено для студентов четвертого курса физико-технического и радиофизического факультетов, изучающих дисциплину "Прикладная физика: Физика плазмы и УТС" в рамках бакалаврской подготовки.

• 1. Введение.
• 2. Положительный столб тлеющего разряда.
  • 2.1 . Структура и основные свойства тлеющего разряда.
  • 2.2 Теория однородного положительного столба в диффузионном режиме.
• 3. Кинетическое описание плазмы положительного столба
  • 3.1 Кинетическое уравнение Больцмана
  • 3.2 Кинетическое уравнение для электронов в электрическом поле в f0, f1 - приближении
  • 3.3 Интеграл упругих столкновений электронов с нейтральными частицами
  • 3.4 Примеры решения кинетического уравнения в случае преобладания упругих столкновений
    • 3.4.1 Частота столкновений не зависит от скорости.
    • 3.4.2 Сечение столкновений не зависит от скорости.
  • 3.5 Интеграл неупругих столкновений электронов с нейтральными частицами.
  • 3.6 Решение кинетического уравнения в случае преобладания неупругих столкновений. Приближение черной стенки
    • 3.6.1 Частота столкновений не зависит от скорости
    • 3.6.2 Сечение столкновений не зависит от скорости
    • 3.6.3 Сечение столкновений пропорционально энергии
    • 3.6.4 Вычисление числа неупругих ударов
    • 3.6.5 Решение кинетического уравнения в области III, где существенны неупругие столкновения
  • 3.7 Понятие о нелокальности функции распределения.
  • 3.8 Функция распределения в переменных полях
• 4. Катодная область тлеющего разряда постоянного тока.
  • 4.1 Некоторые экспериментальные данные о катодном слое тлеющего разряда
  • 4.2 Процессы на поверхности холодного катода.
  • 4.3 Теория приэлектродного слоя тлеющего разряда постоянного тока
• 5. Высокочастотный разряд.
  • 5.1 Классификация высокочастотных разрядов.
  • 5.2 Протекание тока в высокочастотном емкостном разряде, приэлектродные слои
  • 5.3 Уравнение движения ионов в усредненных полях. Высокочастотная диффузия
  • 5.4 Несамостоятельный высокочастотный разряд.
  • 5.5 Самостоятельный -разряд
  • 5.6 Самостоятельный - разряд
  • 5.7 Высокочастотный разряд низкого давления.