Details
Title | Прикладная физика. Физика газового разряда: учеб. пособие |
---|---|
Creators | Смирнов Александр Сергеевич |
Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |
Imprint | СПб., 2007 |
Collection | Учебная и учебно-методическая литература ; Общая коллекция |
Subjects | Тлеющий разряд |
UDC | 537.525(075.8) ; 537.52(075.8) |
Document type | Tutorial |
File type | |
Language | Russian |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\14279 |
Record create date | 6/18/2007 |
Пособие соответствует государственному образовательному стандарту дисциплины "Прикладная физика: Физика плазмы и УТС" направления бакалаврской подготовки 553100 "Техническая физика". Рассмотрены гидродинамическая и кинетическая теория положительного столба тлеющего разряда постоянного тока, катодная область тлеющего разряда постоянного тока, высокочастотный емкостной разряд высокого и низкого давления. Основное внимание уделено высокочастотным емкостным разрядам, которые в последнее время нашли широкое применение в плазменной технологии и лазерной технике. При анализе процессов в разряде особо выделено кинетическое описание явлений. Это позволяет качественно и количественно описать процессы в разрядах низкого давления. Предназначено для студентов четвертого курса физико-технического и радиофизического факультетов, изучающих дисциплину "Прикладная физика: Физика плазмы и УТС" в рамках бакалаврской подготовки.
- 1. Введение.
- 2. Положительный столб тлеющего разряда.
- 2.1 . Структура и основные свойства тлеющего разряда.
- 2.2 Теория однородного положительного столба в диффузионном режиме.
- 3. Кинетическое описание плазмы положительного столба
- 3.1 Кинетическое уравнение Больцмана
- 3.2 Кинетическое уравнение для электронов в электрическом поле в f0, f1 - приближении
- 3.3 Интеграл упругих столкновений электронов с нейтральными частицами
- 3.4 Примеры решения кинетического уравнения в случае преобладания упругих столкновений
- 3.4.1 Частота столкновений не зависит от скорости.
- 3.4.2 Сечение столкновений не зависит от скорости.
- 3.5 Интеграл неупругих столкновений электронов с нейтральными частицами.
- 3.6 Решение кинетического уравнения в случае преобладания неупругих столкновений. Приближение черной стенки
- 3.6.1 Частота столкновений не зависит от скорости
- 3.6.2 Сечение столкновений не зависит от скорости
- 3.6.3 Сечение столкновений пропорционально энергии
- 3.6.4 Вычисление числа неупругих ударов
- 3.6.5 Решение кинетического уравнения в области III, где существенны неупругие столкновения
- 3.7 Понятие о нелокальности функции распределения.
- 3.8 Функция распределения в переменных полях
- 4. Катодная область тлеющего разряда постоянного тока.
- 4.1 Некоторые экспериментальные данные о катодном слое тлеющего разряда
- 4.2 Процессы на поверхности холодного катода.
- 4.3 Теория приэлектродного слоя тлеющего разряда постоянного тока
- 5. Высокочастотный разряд.
- 5.1 Классификация высокочастотных разрядов.
- 5.2 Протекание тока в высокочастотном емкостном разряде, приэлектродные слои
- 5.3 Уравнение движения ионов в усредненных полях. Высокочастотная диффузия
- 5.4 Несамостоятельный высокочастотный разряд.
- 5.5 Самостоятельный -разряд
- 5.6 Самостоятельный - разряд
- 5.7 Высокочастотный разряд низкого давления.
Access count: 4326
Last 30 days: 77