Детальная информация
Название | Изучение свойств наноструктурированных пленок кремния, полученных методом плазмо-химического осаждения: магистерская диссертация |
---|---|
Авторы | Громов Павел Юрьевич |
Организация | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2014 |
Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
Тематика | Наноструктурные материалы ; Пленки кремниевые ; Плазмохимия |
УДК | 539.216.2(043.3) ; 620.22-022.53(043.3) |
Тип документа | Другой |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\22048 |
Дата создания записи | 23.06.2014 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Группа | Анонимные пользователи |
---|---|
Сеть | Интернет |
Объектом исследования являются тонкие пленки наноструктурированного гидрогенизированного аморфного кремния, полученные методом плазмо-химического осаждения (PECVD). Целью работы было изучение свойств этих пленок. В зависимости от параметров PECVD процесса проводились исследования ИК-Фурье спектрометрии, спектрометрической эллипсометрии, а так же с помощью установки для измерения темновой проводимости и энергии активации. В результате исследования установлено, что при увеличении давления газовой смеси происходит рост концентрации водорода и содержания изолированных SiH связей, также в объеме пленок происходит рост числа SiH₂ связей и нанокристаллитов. При увеличении мощности разряда также происходит рост концентрации водорода, числа SiH₂ связей и содержания нанокристаллитов в материале.
Место доступа | Группа пользователей | Действие |
---|---|---|
Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 1120
За последние 30 дней: 0