С 17 марта 2020 г. для ресурсов (учебные, научные, материалы конференций, статьи из периодических изданий, авторефераты диссертаций, диссертации) ЭБ СПбПУ, обеспечивающих образовательный процесс, установлен особый режим использования. Обращаем внимание, что ВКР/НД не относятся к этой категории.

Details

Title: Изучение свойств наноструктурированных пленок кремния, полученных методом плазмо-химического осаждения: магистерская диссертация
Creators: Громов Павел Юрьевич
Organization: Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций. Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники
Imprint: Санкт-Петербург, 2014
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Наноструктурные материалы; Пленки кремниевые; Плазмохимия
UDC: 539.216.2(043.3); 620.22-022.53(043.3)
File type: PDF
Language: Russian
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)

Allowed Actions:

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Объектом исследования являются тонкие пленки наноструктурированного гидрогенизированного аморфного кремния, полученные методом плазмо-химического осаждения (PECVD). Целью работы было изучение свойств этих пленок. В зависимости от параметров PECVD процесса проводились исследования ИК-Фурье спектрометрии, спектрометрической эллипсометрии, а так же с помощью установки для измерения темновой проводимости и энергии активации. В результате исследования установлено, что при увеличении давления газовой смеси происходит рост концентрации водорода и содержания изолированных SiH связей, также в объеме пленок происходит рост числа SiH₂ связей и нанокристаллитов. При увеличении мощности разряда также происходит рост концентрации водорода, числа SiH₂ связей и содержания нанокристаллитов в материале.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 1107
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics