Electronic Documents Search
Documents found: 2
-
Creators Громов Павел Юрьевич Organization Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций Imprint Санкт-Петербург, 2014 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Наноструктурные материалы; Пленки кремниевые; Плазмохимия UDC 539.216.2(043.3); 620.22-022.53(043.3) Document type Other File type PDF Language Russian Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 4.7 Mb -
Creators Атемасов Лев Валентинович Scientific adviser Фролов Владимир Яковлевич Organization Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт энергетики и транспортных систем Imprint Санкт-Петербург, 2017 Collection Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция Subjects Вакуумная техника; Пленки кремниевые; Солнечные батареи; Ионные источники плазменные; Плазма (физ.) низкотемпературная; магнетронные распылительные системы UDC 621.383.51(043.3); 533.599(043.3); 621.793.74(043.3) Document type Master graduation qualification work File type PDF Language Russian Level of education Master Speciality code (FGOS) 13.04.02 Speciality group (FGOS) 130000 - Электро- и теплоэнергетика DOI 10.18720/SPBPU/2/v17-2029 Rights Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) pdf, 2.7 Mb
