?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Разработка технологической установки для обработки стеклянных пластин ионно-плазменным и плазмохимическим методами: магистерская диссертация: 13.04.02
Creators: Атемасов Лев Валентинович
Scientific adviser: Фролов Владимир Яковлевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт энергетики и транспортных систем
Imprint: Санкт-Петербург, 2017
Collection: Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Subjects: Вакуумная техника; Пленки кремниевые; Солнечные батареи; Ионные источники плазменные; Плазма (физ.) низкотемпературная; магнетронные распылительные системы
UDC: 621.383.51(043.3); 533.599(043.3); 621.793.74(043.3)
Document type: Master graduation qualification work
File type: PDF
Language: Russian
Level of education: Master
Speciality code (FGOS): 13.04.02
Speciality group (FGOS): 130000 - Электро- и теплоэнергетика
DOI: 10.18720/SPBPU/2/v17-2029
Rights: Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\39728

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Объектом исследования является технологическая установка для обработки стеклянных панелей ионно-плазменным и плазмо-химическим методами. Цель работы - разработка технологической установки для обработки стеклянных панелей ионно-плазменным и плазмо-химическим методами. В процессе работы проводились экспериментальные исследования отдельных составляющих установки.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
Internet Authorized users SPbPU Read Print Download
-> Internet Anonymous

Usage statistics

stat Access count: 222
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics