Громов, Павел Юрьевич. Изучение свойств наноструктурированных пленок кремния, полученных методом плазмо-химического осаждения [Электронный ресурс]: магистерская диссертация / П.Ю. Громов; Санкт-Петербургский государственный политехнический университет, Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций, Кафедра физики полупроводников и наноэлектроники. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 4,67 Мб). — Санкт-Петербург, 2014. — Загл. с титул. экрана. — Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый файл. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/4179.pdf>.
|
Период
|
Чтение
|
Печать
|
Копирование
|
Открытие
|
Итого
|
|
Год 2014
|
Квартал 2
|
3
|
0
|
1
|
0
|
4
|
|
Квартал 3
|
22
|
0
|
11
|
0
|
33
|
|
Квартал 4
|
17
|
0
|
8
|
0
|
25
|
|
Год 2015
|
Квартал 1
|
12
|
0
|
6
|
0
|
18
|
|
Квартал 2
|
23
|
0
|
4
|
0
|
27
|
|
Квартал 3
|
8
|
0
|
7
|
0
|
15
|
|
Квартал 4
|
9
|
0
|
10
|
0
|
19
|
|
Год 2016
|
Квартал 1
|
13
|
0
|
4
|
0
|
17
|
|
Квартал 2
|
11
|
0
|
5
|
0
|
16
|
|
Квартал 3
|
5
|
0
|
0
|
0
|
5
|
|
Квартал 4
|
11
|
0
|
4
|
0
|
15
|
|
Год 2017
|
Квартал 1
|
5
|
0
|
2
|
0
|
7
|
|
Квартал 2
|
11
|
0
|
42
|
0
|
53
|
|
Квартал 3
|
12
|
0
|
41
|
0
|
53
|
|
Квартал 4
|
13
|
0
|
47
|
0
|
60
|
|
Год 2018
|
Квартал 1
|
7
|
0
|
62
|
0
|
69
|
|
Квартал 2
|
8
|
0
|
85
|
0
|
93
|
|
Квартал 3
|
7
|
0
|
48
|
0
|
55
|
|
Квартал 4
|
7
|
0
|
67
|
0
|
74
|
|
Год 2019
|
Квартал 1
|
5
|
0
|
64
|
0
|
69
|
|
Квартал 2
|
6
|
0
|
76
|
0
|
82
|
|
Квартал 3
|
5
|
0
|
41
|
0
|
46
|
|
Квартал 4
|
6
|
0
|
180
|
0
|
186
|
|
Год 2020
|
Квартал 1
|
18
|
0
|
48
|
0
|
66
|
|
Квартал 2
|
4
|
0
|
0
|
0
|
4
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
1
|
0
|
2
|
0
|
3
|
|
2021
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2022
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
1
|
0
|
1
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
2023
|
Квартал 1
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 2
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 3
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Квартал 4
|
0
|
0
|
0
|
0
|
0
|
|
Год 2024
|
Квартал 1
|
1
|
0
|
1
|
0
|
2
|
|
Квартал 2
|
1
|
0
|
0
|
0
|
1
|
|
Всего
|
251
|
0
|
867
|
0
|
1 118
|
