Details
Title | Влияние конструкции барьерного слоя на электрофизические параметры транзисторных гетероструктур на основе соединений III-N, полученных методом МЛЭ: магистерская диссертация |
---|---|
Creators | Ионов Леонид Эдуардович |
Organization | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
Imprint | Санкт-Петербург, 2014 |
Collection | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
Subjects | Полупроводниковые структуры ; Триоды полупроводниковые |
UDC | 537.311.322(043.3) |
Document type | Other |
File type | |
Language | Russian |
Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\22299 |
Record create date | 7/11/2014 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
Group | Anonymous |
---|---|
Network | Internet |
Изменение содержания Al в барьерном слое AlxGa1-xN от 25% до 40% приводит к изменению слоевого сопротивления от 400-420 до 250-270 Ом/ед. пл. Однако увеличение содержания Al выше 30% затрудняет получение омических контактов, а так же приводит к релаксации напряжений. Поэтому оптимальной является структура с концентрацией Al порядка 30%. При данном составе слоевая концентрация электронов равна 1.5-1.6·1013 см-2, подвижность- 1300-1400 см2/В·с, а слоевое сопротивление- 290-310 Ом/ед. пл. Использование сверхрешеток в виде барьерного слоя позволяет увеличить концентрацию и подвижность электронов, однако при этом необходима дальнейшая оптимизация технологии термического отжига омических контактов. Были получены транзисторные гетероструктуры с барьерным слоем In0.17Al0.83N, согласованным по параметрам решётки с GaN, с электрофизическими параметрами: слоевая концентрация электронов - 2,1·1013 см-2, подвижность электронов в канале - 1100 см2/В.с.
Network | User group | Action |
---|---|---|
ILC SPbPU Local Network | All |
|
Internet | Authorized users SPbPU |
|
Internet | Anonymous |
|
Access count: 860
Last 30 days: 0