Таблица | Карточка | RUSMARC | |
Разрешенные действия: Прочитать Загрузить (396 Кб) Группа: Анонимные пользователи Сеть: Интернет |
Аннотация
В работе исследован процесс выращивания толстых монокристаллических слоев нитрида галлия методом хлорид-гидридной газофазной эпитаксии. Исследованы режимы роста нитрида галлия, механизмы возникновения ямок роста и механизмы образования растягивающего механического напряжения. Предложены способы оптимизации технологического процесса выращивания толстых слоев нитрида галлия.
Права на использование объекта хранения
Статистика использования
Количество обращений: 784
За последние 30 дней: 11 Подробная статистика |