Детальная информация

Название Оптимизация технологических условий эпитаксиального роста толстых слоев нитрида галлия: дис. … канд. физ.-мат. наук: 01.04.10
Авторы Вороненков Владислав Валерьевич
Научный руководитель Шретер Юрий Георгиевич
Организация Санкт-Петербургский государственный политехнический университет
Выходные сведения Санкт-Петербург, 2014
Коллекция Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция
Тематика Галлий, нитриды ; Полупроводники — Кристаллы — Рост ; газофазная эпитаксия
УДК 537.311.322:548.5(043.3)
Тип документа Диссертация
Тип файла PDF
Язык Русский
Код специальности ОКСВНК 01.04.10
Группа специальностей ОКСВНК 010000 - Физико-математические науки
Права доступа Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Ключ записи RU\SPSTU\edoc\23255
Дата создания записи 17.11.2014

Разрешенные действия

Прочитать Загрузить (46 Мб)

Группа Анонимные пользователи
Сеть Интернет

В работе исследован процесс выращивания толстых монокристаллических слоев нитрида галлия методом хлорид-гидридной газофазной эпитаксии. Исследованы режимы роста нитрида галлия, механизмы возникновения ямок роста и механизмы образования растягивающего механического напряжения. Предложены способы оптимизации технологического процесса выращивания толстых слоев нитрида галлия.

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все
Прочитать Печать Загрузить
Интернет Все

Количество обращений: 1248 
За последние 30 дней: 10

Подробная статистика