Детальная информация
Название | Оптимизация технологических условий эпитаксиального роста толстых слоев нитрида галлия: дис. … канд. физ.-мат. наук: 01.04.10 |
---|---|
Авторы | Вороненков Владислав Валерьевич |
Научный руководитель | Шретер Юрий Георгиевич |
Организация | Санкт-Петербургский государственный политехнический университет |
Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2014 |
Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
Тематика | Галлий, нитриды ; Полупроводники — Кристаллы — Рост ; газофазная эпитаксия |
УДК | 537.311.322:548.5(043.3) |
Тип документа | Диссертация |
Тип файла | |
Язык | Русский |
Код специальности ОКСВНК | 01.04.10 |
Группа специальностей ОКСВНК | 010000 - Физико-математические науки |
Права доступа | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\23255 |
Дата создания записи | 17.11.2014 |
В работе исследован процесс выращивания толстых монокристаллических слоев нитрида галлия методом хлорид-гидридной газофазной эпитаксии. Исследованы режимы роста нитрида галлия, механизмы возникновения ямок роста и механизмы образования растягивающего механического напряжения. Предложены способы оптимизации технологического процесса выращивания толстых слоев нитрида галлия.
Количество обращений: 1248
За последние 30 дней: 10