Table | Card | RUSMARC | |
Allowed Actions: Read Download (46 Mb) Group: Anonymous Network: Internet |
Annotation
В работе исследован процесс выращивания толстых монокристаллических слоев нитрида галлия методом хлорид-гидридной газофазной эпитаксии. Исследованы режимы роста нитрида галлия, механизмы возникновения ямок роста и механизмы образования растягивающего механического напряжения. Предложены способы оптимизации технологического процесса выращивания толстых слоев нитрида галлия.
Usage statistics
Access count: 1059
Last 30 days: 37 Detailed usage statistics |