Детальная информация
| Название | Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния: бакалаврская работа |
|---|---|
| Авторы | Зуфаров Вадим Марсельевич |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2015 |
| Коллекция | Выпускные квалификационные работы ; Общая коллекция |
| Тип документа | Другой |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\27419 |
| Дата создания записи | 16.09.2015 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Проводится анализ частотных и температурных зависимостей диэлектрического отклика, подбор эквивалентных электрических схем и определение с их помощью основных параметров исследуемого материала. Исследуется влияние pin-hole эффекта на электрические свойства пленок и анализ DC-проводимости пленок различной толщины.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 1714
За последние 30 дней: 0
