Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния: бакалаврская работа

Зуфаров, Вадим Марсельевич

Details

	Table	Card	RUSMARC

Title:	Диэлектрические свойства PECVD пленок нитрида кремния: бакалаврская работа
Creators:	Зуфаров Вадим Марсельевич
Organization:	Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. Институт физики, нанотехнологий и телекоммуникаций
Imprint:	Санкт-Петербург, 2015
Collection:	Выпускные квалификационные работы; Общая коллекция
Document type:	Other
File type:	PDF
Language:	Russian
Rights:	Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key:	RU\SPSTU\edoc\27419

Allowed Actions: –

Action 'Read' will be available if you login or access site from another network Action 'Download' will be available if you login or access site from another network

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Проводится анализ частотных и температурных зависимостей диэлектрического отклика, подбор эквивалентных электрических схем и определение с их помощью основных параметров исследуемого материала. Исследуется влияние pin-hole эффекта на электрические свойства пленок и анализ DC-проводимости пленок различной толщины.

Document access rights

	Network		User group		Action
	ILC SPbPU Local Network		All
	Internet		Authorized users SPbPU
	Internet		Anonymous

Usage statistics

Access count: 1714
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics