Details
Title | Влияние неоднородности фазового состава диэлектрической подложки на процесс лазерного осаждения меди из раствора: автореф. дис. … канд. хим. наук: 05.27.06 |
---|---|
Creators | Тумкин Илья Игоревич |
Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
Imprint | Санкт-Петербург, 2015 |
Collection | Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция |
Subjects | Осаждение (хим. ); Генераторы квантовые — Применение в химии; Медь; Диэлектрики; диэлектрические подложки |
UDC | 621.373.826:669.334.962(043.3) |
Document type | Author's Abstract |
File type | |
Language | Russian |
Speciality code (OKSVNK) | 05.27.06 |
Speciality group (OKSVNK) | 050000 - Технические науки |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\28643 |
Record create date | 10/19/2015 |
Настоящая работа посвящена методу лазерно-индуцированного осаждения металла из раствора (ЛОМР) для создания различных металлических структур на поверхности диэлектриков без фотошаблона. Излучение лазера активирует поверхность диэлектрика и ускоряет реакцию металлизации в облученной области за счет увеличения температуры в локальном объеме, находящемся в фокусе лазерного луча. В работе исследовано влияние подложки на результат воспроизводимого осаждения меди, а именно, изучение традиционных способов активации, анализ влияния температурного градиента на поверхности в фокусном пятне, а также построена теоретическая модель, связывающая результат осаждения с природой диэлектрической подложки.
Access count: 875
Last 30 days: 19