Детальная информация

Название Исследование трибологических свойств и адгезионной прочности тонкопленочных MoS₂-покрытий = Investigation of tribological properties and adhesion strength of thin-film MoS₂ coatings // III Интеллектуальная трибология в машиностроении: BALT TRIBO 2026 = III Intelligent Tribology in mechanical engineering: BALT TRIBO 2026: сборник статей Международной научно-практической конференции, 18–19 июня 2026 года
Авторы Беликов А. И. ; Мишкинис А. Р. ; Илларионов А. И.
Организация Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана
Выходные сведения Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2026
Коллекция Общая коллекция
Тематика Антифрикционные материалы ; дисульфид молибдена ; ионно-плазменная очистка ; магнетронное распыление ; адгезионная прочность ; коэффициент трения ; molybdenum disulfide ; ion-plasma cleaning ; magnetron sputtering ; adhesion strength ; coefficient of friction
УДК 621.893
Тип документа Статья, доклад
Язык Русский
DOI 10.18720/SPBPU/2/id26-383
Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Дополнительно Новинка
Ключ записи RU\SPSTU\edoc\79555
Дата создания записи 22.07.2026

Разрешенные действия

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Действие 'Загрузить' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа Анонимные пользователи
Сеть Интернет

Исследовано влияние жидкостной и ионно-плазменной очисток подложек из стали AISI 430 на адгезионную прочность и трибологические свойства тонкопленочных покрытий MoS₂, нанесенных магнетронным распылением. Варьировались наличие жидкостной очистки, напряжение (0–700 В) и длительность (1–30 мин) ионно-плазменной обработки, а также потенциал смещения при осаждении (30, 50 В). Показано, что комбинированная очистка обеспечивает высокую адгезионную прочность и стабильно низкий коэффициент трения (~0,02) в вакууме. Лучшие результаты получены при очистке -550 В (20 мин) или -700 В (10 мин) со смещением 50 В. Длительная очистка при 400 В (30 мин) ухудшает трибологические свойства.

The influence of liquid and ion-plasma cleaning of AISI 430 stainless steel substrates on the adhesion strength and tribological properties of thin-film MoS₂ coatings deposited by magnetron sputtering was investigated. The parameters varied included the use of liquid cleaning, the voltage (0–700 V) and duration (1–30 min) of ion-plasma treatment, and the bias potential applied during deposition (30, 50 V). It is shown that combined cleaning ensures high adhesion strength and a consistently low coefficient of friction (~0,02) in vacuum. The best results were achieved with cleaning at -550 V (20 min) or -700 V (10 min) in combination with a 50 V bias potential. Prolonged cleaning treatment at 400 V (30 min) leads to a deterioration of tribological properties.

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все
Прочитать Печать Загрузить
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ
Прочитать Печать Загрузить
Интернет Анонимные пользователи
...