Details
| Title | Исследование трибологических свойств и адгезионной прочности тонкопленочных MoS₂-покрытий = Investigation of tribological properties and adhesion strength of thin-film MoS₂ coatings // III Интеллектуальная трибология в машиностроении: BALT TRIBO 2026 = III Intelligent Tribology in mechanical engineering: BALT TRIBO 2026: сборник статей Международной научно-практической конференции, 18–19 июня 2026 года |
|---|---|
| Creators | Беликов А. И. ; Мишкинис А. Р. ; Илларионов А. И. |
| Organization | Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана |
| Imprint | Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2026 |
| Collection | Общая коллекция |
| Subjects | Антифрикционные материалы ; дисульфид молибдена ; ионно-плазменная очистка ; магнетронное распыление ; адгезионная прочность ; коэффициент трения ; molybdenum disulfide ; ion-plasma cleaning ; magnetron sputtering ; adhesion strength ; coefficient of friction |
| UDC | 621.893 |
| Document type | Article, report |
| Language | Russian |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/id26-383 |
| Rights | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
| Additionally | New arrival |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\79555 |
| Record create date | 7/22/2026 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
Action 'Download' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Исследовано влияние жидкостной и ионно-плазменной очисток подложек из стали AISI 430 на адгезионную прочность и трибологические свойства тонкопленочных покрытий MoS₂, нанесенных магнетронным распылением. Варьировались наличие жидкостной очистки, напряжение (0–700 В) и длительность (1–30 мин) ионно-плазменной обработки, а также потенциал смещения при осаждении (30, 50 В). Показано, что комбинированная очистка обеспечивает высокую адгезионную прочность и стабильно низкий коэффициент трения (~0,02) в вакууме. Лучшие результаты получены при очистке -550 В (20 мин) или -700 В (10 мин) со смещением 50 В. Длительная очистка при 400 В (30 мин) ухудшает трибологические свойства.
The influence of liquid and ion-plasma cleaning of AISI 430 stainless steel substrates on the adhesion strength and tribological properties of thin-film MoS₂ coatings deposited by magnetron sputtering was investigated. The parameters varied included the use of liquid cleaning, the voltage (0–700 V) and duration (1–30 min) of ion-plasma treatment, and the bias potential applied during deposition (30, 50 V). It is shown that combined cleaning ensures high adhesion strength and a consistently low coefficient of friction (~0,02) in vacuum. The best results were achieved with cleaning at -550 V (20 min) or -700 V (10 min) in combination with a 50 V bias potential. Prolonged cleaning treatment at 400 V (30 min) leads to a deterioration of tribological properties.
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Authorized users SPbPU |
|
| Internet | Anonymous |
|
