?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Расчет функции рассеяния точки с учетом двулучепреломления и частичной когерентности освещения с использованием графических процессоров // Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление: научное издание. – 2015. –
Creators: Никулина Екатерина Алексеевна
Organization: Санкт-Петербургский национальный исследовательский университет информационных технологий, механики и оптики; Министерство образования и науки Российской Федерации
Imprint: Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2015
Collection: Общая коллекция
Subjects: Вычислительная техника; Компьютерная графика; Физика; Программирование ЭВМ. Компьютерные программы. Программотехника; Физическая оптика; графические процессоры; CUDA; двойное лучепреломление; фотолитографические системы; фотолитография; когерентность освещения; рассеяние света; рассеяние точки; поляризация
UDC: 004.92; 004.41/.42; 535.2/.3
LBC: 32.973-018.2; 32.973-018; 22.343
Document type: Article, report
File type: PDF
Language: Russian
DOI: 10.5862/JCSTCS.229.3
Rights: Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование)
Record key: RU\SPSTU\edoc\31223

Allowed Actions: Read Download (243 Kb)

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Рассмотрено применение метода представления комплексной амплитуды через суперпозицию плоских волн для учета влияния двулучепреломления в фотолитографических системах. Изображение в проходящем свете при частично когерентном освещении проводится по методу интегрирования по источнику. Показана вычислительная сложность предложенной методики, а также отмечены преимущества использования графических процессоров для решения такого рода задач. Описаны особенности использования графических процессоров для решения неграфических задач. Приведены оценки временных затрат при расчете по описанной методике с применением как графических, так и традиционных процессоров. Показаны результаты моделирования функции рассеяния точки в различных условиях.

This paper considers an application of the method of representing a complex amplitude as a superposition of plane waves to take birefringence in photolithographic systems into account. The image in transmitted light under partially coherent lighting is conducted according to the source integral method. This paper shows the computational costs of the proposed method, also mentioning the benefits of GPU computation for problem-solving of this type. Special aspects of GPU computation for non-graphical problem-solving aredescribed. This paper introduces estimates of span time in case of computation by means of the mentioned method with GPU as well as CPU. This paper shows the results of simulating the point-spread function under different conditions.

Document access rights

Network User group Action
ILC SPbPU Local Network All Read Print Download
-> Internet All Read Print Download

Included in

Научно-технические ведомости Санкт-Петербургского государственного политехнического университета. Сер.: Информатика. Телекоммуникации. Управление = St. Petersburg state polytechnical university journal. Computer science. Telecommunications and control systems: научное издание. — Санкт-Петербург: ПОЛИТЕХ-ПРЕСС, 2008- Электрон. текстовые дан. (1 файл : 2,6 МБ). — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2015. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый документ. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/j16-52.pdf>.

Usage statistics

stat Access count: 684
Last 30 days: 8
Detailed usage statistics