Исследованы откачные характеристики молекулярно-вязкостной ступени молекулярно-вязкостного и комбинированного турбомолекулярного насосов. Исследование проводилось при условии работы ступени с каналами трапецеидальной формы в вязкостном или переходном режимах течения газа. Приведено описание стенда, на базе которого получены экспериментальные данные, а именно измерение быстродействия насоса в широком диапазоне давлений. По полученным экспериментальным данным выполнен анализ влияния скоростных параметров на быстродействие ступени насоса. Определены способы увеличения быстродействия при сохранении габаритных размеров насоса в целом.

We have experimentally investigated the evacuating characteristics of a molecular viscous stage of a combined turbomolecular pump. This study has been conducted for a stage with trapezoidal channels operating in viscous or transient regimes of gas flow. The paper describes the experimental stand used to obtain the experimental data, namely, measured speed of the pump in a wide range of pressures. The obtained experimental data have been used to analyze the influence of the velocity parameters of the pump stage on its operational speed. The ways of increasing the operational speed of the pump have been determined without changing the overall dimensions of the pump as a whole.

Научно-технические ведомости СПбПУ. Сер.: Естественные и инженерные науки = St. Petersburg polytechnic university journal of engineering science and technology / Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого. — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2017-. Т. 24, № 4 [Электронный ресурс]. — Электрон. текстовые дан. (1 файл : 27,0 Мб). — Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2018. — Загл. с титул. экрана. — Электронная версия печатной публикации. — Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование). — Текстовый документ. — Adobe Acrobat Reader 7.0. — <URL:http://elib.spbstu.ru/dl/2/j19-119.pdf>.