Details
Title | Экспериментальное определение быстродействия молекулярно-вязкостной ступени вакуумного насоса // Научно-технические ведомости СПбПУ. Сер.: Естественные и инженерные науки. – 2018. – Т. 24, № 4 |
---|---|
Creators | Никулин Н. К. ; Свичкарь Е. В. ; Ключаров В. С. |
Organization | Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана |
Imprint | Санкт-Петербург: Изд-во Политехн. ун-та, 2018 |
Collection | Общая коллекция |
Subjects | Энергетика ; Техника сжатых и разреженных газов ; насосы ; вакуумные насосы ; молекулярно-вязкостные ступени ; быстродействие насосов ; определение быстродействия насосов ; откачные параметры ; проточные части насосов ; pumps ; vacuum pumps ; molecular viscosity stages ; pump speed ; pump speed detection ; pumping parameters ; pump flow parts |
UDC | 621.5/6 |
LBC | 31.7 |
Document type | Article, report |
File type | Other |
Language | Russian |
DOI | 10.18721/JEST.24409 |
Rights | Свободный доступ из сети Интернет (чтение, печать, копирование) |
Record key | RU\SPSTU\edoc\61013 |
Record create date | 5/6/2019 |
Исследованы откачные характеристики молекулярно-вязкостной ступени молекулярно-вязкостного и комбинированного турбомолекулярного насосов. Исследование проводилось при условии работы ступени с каналами трапецеидальной формы в вязкостном или переходном режимах течения газа. Приведено описание стенда, на базе которого получены экспериментальные данные, а именно измерение быстродействия насоса в широком диапазоне давлений. По полученным экспериментальным данным выполнен анализ влияния скоростных параметров на быстродействие ступени насоса. Определены способы увеличения быстродействия при сохранении габаритных размеров насоса в целом.
We have experimentally investigated the evacuating characteristics of a molecular viscous stage of a combined turbomolecular pump. This study has been conducted for a stage with trapezoidal channels operating in viscous or transient regimes of gas flow. The paper describes the experimental stand used to obtain the experimental data, namely, measured speed of the pump in a wide range of pressures. The obtained experimental data have been used to analyze the influence of the velocity parameters of the pump stage on its operational speed. The ways of increasing the operational speed of the pump have been determined without changing the overall dimensions of the pump as a whole.
Access count: 384
Last 30 days: 12