Детальная информация

Название: Проектирование и расчет химических микрореакторов для использования в технологии устройств микросистемной техники: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06
Авторы: Конаков Степан Андреевич
Научный руководитель: Кржижановская Валерия Владимировна
Организация: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Выходные сведения: Санкт-Петербург, 2018
Коллекция: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Тематика: Электронные приборы — Производство - Оборудование; Осаждение (хим. ); Травление металлов; Пленки тонкие — Получение
УДК: 621.793.3(043.3); 621.794.44(043.3); 539.23(043.3)
Тип документа: Автореферат
Тип файла: PDF
Язык: Русский
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r18-45
Права доступа: Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение)

Разрешенные действия:

Группа: Анонимные пользователи

Сеть: Интернет

Аннотация

В работе описаны новые методы проектирования и расчета химических микрореакторов. Показаны теоретические и экспериментальные результаты для реакторов с жидкой и с газовой фазой. Даны примеры практического применения микрореакторов в технологии производства устройств микросистемной техники.

Права на использование объекта хранения

Место доступа Группа пользователей Действие

Статистика использования

stat Количество обращений: 2
За последние 30 дней: 0
Подробная статистика