Детальная информация
| Название | Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 |
|---|---|
| Авторы | Осипов Артем Арменакович |
| Научный руководитель | Александров Сергей Евгеньевич |
| Организация | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2019 |
| Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Тематика | Плазменная обработка ; Кварц ; Кремний, карбиды ; Ниобий, окислы ; Литий |
| УДК | 621.794.6(043.3) |
| Тип документа | Автореферат |
| Тип файла | |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r19-16 |
| Права доступа | Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\60815 |
| Дата создания записи | 19.03.2019 |
Разрешенные действия
–
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Приведено описание оригинальной установки плазмохимического травления широкого спектра функциональных материалов. Изучены физико-химические особенности плазмохимического травления (ПХТ) SiO2, SiC и LiNbO3 во фторсодержащей плазме. Описаны эксперименты по ранжированию различных операционных параметров процесса ПХТ по степени их влияния на скорость травления. Представлены результаты изучения термостимулированного процесса ПХТ, позволившие предложить высокопроизводительные процессы прецизионной обработки SiO2, SiC и LiNbO3 в высокоплотной индуктивно-связанной плазме (ИСП).
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|
Количество обращений: 0
За последние 30 дней: 0
