Details
| Title | Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06 |
|---|---|
| Creators | Осипов Артем Арменакович |
| Scientific adviser | Александров Сергей Евгеньевич |
| Organization | Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Imprint | Санкт-Петербург, 2019 |
| Collection | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Subjects | Плазменная обработка ; Кварц ; Кремний, карбиды ; Ниобий, окислы ; Литий |
| UDC | 621.794.6(043.3) |
| Document type | Author's Abstract |
| File type | |
| Language | Russian |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r19-16 |
| Rights | Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение) |
| Record key | RU\SPSTU\edoc\60815 |
| Record create date | 3/19/2019 |
Allowed Actions
–
Action 'Read' will be available if you login or access site from another network
| Group | Anonymous |
|---|---|
| Network | Internet |
Приведено описание оригинальной установки плазмохимического травления широкого спектра функциональных материалов. Изучены физико-химические особенности плазмохимического травления (ПХТ) SiO2, SiC и LiNbO3 во фторсодержащей плазме. Описаны эксперименты по ранжированию различных операционных параметров процесса ПХТ по степени их влияния на скорость травления. Представлены результаты изучения термостимулированного процесса ПХТ, позволившие предложить высокопроизводительные процессы прецизионной обработки SiO2, SiC и LiNbO3 в высокоплотной индуктивно-связанной плазме (ИСП).
| Network | User group | Action |
|---|---|---|
| ILC SPbPU Local Network | All |
|
| Internet | Anonymous |
|
Access count: 0
Last 30 days: 0
