?

Details
Table Card RUSMARC
Title: Разработка технологии скоростного глубокого плазмохимического травления монокристаллического кварца, карбида кремния и ниобата лития при малой мощности: автореф. дис. … канд. техн. наук: 05.27.06
Creators: Осипов Артем Арменакович
Scientific adviser: Александров Сергей Евгеньевич
Organization: Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Imprint: Санкт-Петербург, 2019
Collection: Научные работы аспирантов/докторантов; Общая коллекция
Subjects: Плазменная обработка; Кварц; Кремний, карбиды; Ниобий, окислы; Литий
UDC: 621.794.6(043.3)
Document type: Author's Abstract
File type: PDF
Language: Russian
DOI: 10.18720/SPBPU/2/r19-16
Rights: Доступ из локальной сети ФБ СПбПУ (чтение)
Record key: RU\SPSTU\edoc\60815

Allowed Actions: –

Group: Anonymous

Network: Internet

Annotation

Приведено описание оригинальной установки плазмохимического травления широкого спектра функциональных материалов. Изучены физико-химические особенности плазмохимического травления (ПХТ) SiO2, SiC и LiNbO3 во фторсодержащей плазме. Описаны эксперименты по ранжированию различных операционных параметров процесса ПХТ по степени их влияния на скорость травления. Представлены результаты изучения термостимулированного процесса ПХТ, позволившие предложить высокопроизводительные процессы прецизионной обработки SiO2, SiC и LiNbO3 в высокоплотной индуктивно-связанной плазме (ИСП).

Document access rights

Network User group Action

Usage statistics

stat Access count: 0
Last 30 days: 0
Detailed usage statistics