Детальная информация
| Название | Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники: автореф. дис. … д-ра техн. наук: 05.27.06 |
|---|---|
| Авторы | Клунникова Юлия Владимировна |
| Другие авторы | Малюков Сергей Павлович ; Филимонов Алексей Владимирович |
| Организация | Южный федеральный университет (ЮФУ) ; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого |
| Выходные сведения | Санкт-Петербург, 2019 |
| Коллекция | Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция |
| Тематика | Сапфир ; Кристаллы — Выращивание ; Кристаллизация направленная ; Микроэлектроника ; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы |
| УДК | 548.5:549.517.14(043.3) ; 539.216.2(043.3) |
| Тип документа | Автореферат |
| Язык | Русский |
| DOI | 10.18720/SPBPU/2/r19-19 |
| Права доступа | Доступ по паролю из сети Интернет (чтение) |
| Ключ записи | RU\SPSTU\edoc\60820 |
| Дата создания записи | 19.03.2019 |
Разрешенные действия
–
Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети
| Группа | Анонимные пользователи |
|---|---|
| Сеть | Интернет |
Проведен комплекс теоретических и экспериментальных исследований по усовершенствованию технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники. На основе исследований роста кристаллов сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации и новых аналитических и экспериментальных данных определены условия, позволяющие получать кристаллы высокого качества. Усовершенствована технология получения подложек из сапфира для интегральных схем, газочувствительных датчиков и защитных покрытий на базе разработанных физико-технологических основ получения кристаллов сапфира.
| Место доступа | Группа пользователей | Действие |
|---|---|---|
| Локальная сеть ИБК СПбПУ | Все |
|
| Интернет | Авторизованные пользователи СПбПУ |
|
| Интернет | Анонимные пользователи |
|
Количество обращений: 26
За последние 30 дней: 0
