Детальная информация

Название Физико-технологические основы и пути совершенствования технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники: автореф. дис. … д-ра техн. наук: 05.27.06
Авторы Клунникова Юлия Владимировна
Другие авторы Малюков Сергей Павлович ; Филимонов Алексей Владимирович
Организация Южный федеральный университет (ЮФУ) ; Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого
Выходные сведения Санкт-Петербург, 2019
Коллекция Научные работы аспирантов/докторантов ; Общая коллекция
Тематика Сапфир ; Кристаллы — Выращивание ; Кристаллизация направленная ; Микроэлектроника ; Пленки тонкие — Получение — Применение плазмы
УДК 548.5:549.517.14(043.3) ; 539.216.2(043.3)
Тип документа Автореферат
Тип файла PDF
Язык Русский
DOI 10.18720/SPBPU/2/r19-19
Права доступа Доступ по паролю из сети Интернет (чтение)
Ключ записи RU\SPSTU\edoc\60820
Дата создания записи 19.03.2019

Разрешенные действия

Действие 'Прочитать' будет доступно, если вы выполните вход в систему или будете работать с сайтом на компьютере в другой сети

Группа Анонимные пользователи
Сеть Интернет

Проведен комплекс теоретических и экспериментальных исследований по усовершенствованию технологии получения кристаллов сапфира для электронной техники. На основе исследований роста кристаллов сапфира методом горизонтальной направленной кристаллизации и новых аналитических и экспериментальных данных определены условия, позволяющие получать кристаллы высокого качества. Усовершенствована технология получения подложек из сапфира для интегральных схем, газочувствительных датчиков и защитных покрытий на базе разработанных физико-технологических основ получения кристаллов сапфира.

Место доступа Группа пользователей Действие
Локальная сеть ИБК СПбПУ Все
Прочитать
Интернет Авторизованные пользователи СПбПУ
Прочитать
Интернет Анонимные пользователи

Количество обращений: 26 
За последние 30 дней: 0

Подробная статистика