В работе исследуются физические процессы в плазме электроотрицательного безэлектродного высокочастотного (ВЧ) разряда в смеси инертных газов и галогенов, рассматриваемого как источник ультрафиолетового (УФ) излучения.Выявлены физические механизмы и процессы, протекающие в плазме электроотрицательного ВЧ разряда и оказывающие определяющее влияние на характеристики излучения УФ излучения. Установлена степень влияния внешних параметров ВЧ разряда на характеристики излучения, найдены их оптимальные значения.